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紅外透鏡基材單晶硅介紹

作者:時間:2020-04-14 18:26:171032 次瀏覽

單晶硅是綜合性價比優良的紅外材料。可分為透過級 (Transmissive Grade)及反射級(Mirror Grade)。作為透射級材料的光學級直拉單晶硅(OCZ-Si)廣泛應用于中紅外(1—6um)波段,紅外透過率超過50%。區熔單晶硅可用于更寬波段(1--14um),高純的區熔單晶硅(HPFZ-Si)甚至還可用于遠紅外波段(大于30um)。 硅單晶還是優良的激光反射鏡材料。相比較于其他反射鏡材料如銅和鉬,硅單晶由于其良好的導熱性、優良的熱穩定性、較低的熱膨脹系數以及密度相對較低、成本低,易于精密加工等優勢,目前是CO2激光器反射鏡首選的基底材料。

硅透鏡

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常規指標極限指標
直徑φ5-250mm+0/-0.2φ3-350mm+0/-0.2
厚度1-50mm+/-0.10.02-50mm
中心偏3分1分
光潔度60/4040/20
面形N<λ/2@633nm(50mm內)N<λ/10@633nm(50mm內)
有效通光孔徑>90%>95%
倒角保護性<0.5mmX45度保護性<0.5mmX45度